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晶圓、硅片、外延片 實(shí)驗(yàn)室等離子去膠機(jī)NE-PE13F
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產(chǎn)品簡介

NE-PE13F是一款高性價(jià)比的干法去膠設(shè)備，可用于尺寸8英寸及以下樣品表面的活化和清潔處理。等離子去膠的工作原理是將覆有光刻膠的外延片/晶圓放置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中，通入少量氧氣，利用電壓放電，把氧氣（O2）電離成激發(fā)態(tài)的氧原子（O），然后氧原子和抗蝕劑中的C和H快速反應(yīng)，生成CO、CO2和H2O等揮發(fā)性氣體，用真空泵抽走，以達(dá)到去膠的目的。等離子去膠不僅操作簡單、去膠效率高、去膠后晶圓表面干凈光潔而且無劃痕、成本低、環(huán)保，有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量。

產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)NE-PE13F
功率0-300W可調(diào)
頻率13.56 MHz自動(dòng)阻抗匹配
腔體尺寸240(L)*280(D)*200(H)mm
腔體有效處理面積230（L）×205（D）mm
腔體容積13.5L
處理產(chǎn)品尺寸可處理8寸晶圓，向下兼容6寸，4寸晶圓
腔體材質(zhì)316 鏡面不銹鋼
極限真空度1PA
氣路數(shù)量3路耐腐蝕，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣?/td>
外形尺寸600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)
電源供應(yīng)220V


產(chǎn)品應(yīng)用

01

硅片清洗

硅片清洗

02

晶圓去膠

晶圓去膠

03

有機(jī)物清洗

有機(jī)物清洗

04

親水性提升

親水性提升

05

表面微刻蝕

表面微刻蝕

06

表面活化改性

表面活化改性

應(yīng)用案例

產(chǎn)品推薦

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